西安微电子技术研究所
清洁生产审核工作情况公示
为切实改善公司的生产运营情况，提升公司经济效益，减少污染物排放，同时结合公司的发展需要，以及根据我公司自2023年2月开始全面启动清洁生产审核工作，并委托陕西中绿源环境科学技术研究所有限公司对审核工作进行技术方法指导。
根据《中华人民共和国清洁生产促进法》、《清洁生产审核办法》的要求，现向公众公示我公司审核前企业基本情况和产污排污状况，请社会各界对我公司实施清洁生产审核的情况进行监督。
一、企业基本情况
1、企业名称：西安微电子技术研究所
2、企业地址：分布于西安市碑林、雁塔、长安、临潼、西咸新区等五个行政区，共六个园区（长安园区、临潼园区、太乙路地区、光华路地区、太白南路地区、空港新城园区）
4、主要污染物：废水、废气、噪声
二、审核前原辅材料及能源消耗情况
由于西安微电子技术研究所属于涉密单位，因此公示仅公示部分可公示内容。
长安园区
| 序号 | 名称 | 单位 | 2022年 | |
| 1 | 产品情况 | |||
| 1.1 | 芯片 | 万片 | 7.306 | |
| 1.2 | 混合集成电路 | 万只 | 18.9 | |
| 1.3 | 民品集成电路 | 万只 | 13.3 | |
| 1.4 | DC/DC变换器 | 万只 | 80379 | |
| 1.5 | 相关型号任务产品 | 台套 | 34255 | |
| 2 | 资源能源使用情况 | |||
| 2.1 | 生产用水 | 西岳公司 | t/a | 967016 |
| 计混大楼 | t/a | 86475 | ||
| 2.2 | 天然气 | 西岳公司 | m3 | 1064493 |
| 计混大楼 | m3 | 3504145 | ||
| 2.3 | 生产用电 | 西岳公司 | 万kWh/a | 4344.6 |
| 计混大楼 | 万kWh/a | 3214.05 |
临潼园区
| 序号 | 名称 | 单位 | 2022年 | ||
| 1 | 产品情况 | ||||
| 1.1 | 机箱 | 台、套 | 16077 | ||
| 1.2 | CIS类 | 万颗 | 5911 | ||
| 1.3 | 印制板 | m2 | 15209.31 | ||
| 2 | 资源能源使用情况 | ||||
| 2.1 | 生产用水 | 机械加工事业部 | m3 | 9188 | |
| 先进封装事业部 | m3 | 27685 | |||
| 印制板事业部 | m3 | 183072 | |||
| 2.2 | 生产用电 | 机械加工事业部 | kwh | 1201691 | |
| 先进封装事业部 | kwh | 12011131 | |||
| 印制板事业部 | kwh | 7295409 | |||
光华路地区的检测产品类型及数量
| 项目 | 检测产品（单位：只） | ||||||
| LW | VDMOS | 光耦 | IC | 大规模 | 单品 | 对外 | |
| 2022年（7-12月） | 79305 | 57580 | 127983 | 111049 | 6177 | 350252 | 107779 |
| 检测产品合计 | 840125 | ||||||
太乙公司年检测产品类型及数量
| 序号 | 分类 | 数量 | |
| 1 | 所内筛选 | 1741.62万只 | |
| 2 | 所外筛选 | 2948.83万只 | |
| 3 | 环境试验 | 5.1398万套 | |
| 4 | 失效分析、DPA | 数量（只） | 批次 |
| 77259 | 28337 | ||
| 序号 | 分类 | 年产量 |
| 1 | 单板 | 1500块 |
| 2 | 整机 | 5000套 |
三、审核前污染物排放情况一览表
废气污染物排放浓度统计表
| 西岳公司酸性废气吸收塔（北侧） | ||||||
| 高度（m） | 23 | 截面积（m2） | 1.6513 | |||
| 监测日期 | 2022.10.19 | 环保设施工艺 | 喷淋塔 | |||
| 监测项目 | 第一次 | 第二次 | 第三次 | 标准值 | ||
| 氟化物 | 排放浓度（mg/m3） | 0.69 | 0.63 | 0.4 | 9 | |
| 排放速率（kg/h） | 0.039 | 0.036 | 0.022 | / | ||
| 氯化氢 | 排放浓度（mg/m3） | 1.1 | 1.5 | 1.3 | 100 | |
| 排放速率（kg/h） | 0.062 | 0.086 | 0.073 | / | ||
| 硫酸雾 | 排放浓度（mg/m3） | 1.72 | 1.67 | 1.68 | 45 | |
| 排放速率（kg/h） | 0.095 | 0.093 | 0.092 | / | ||
| 西岳公司酸性废气吸收塔（南侧） | ||||||
| 高度（m） | 23 | 截面积（m2） | 1.6513 | |||
| 监测日期 | 2022.10.19 | 环保设施工艺 | 喷淋塔 | |||
| 监测项目 | 第一次 | 第二次 | 第三次 | 标准值 | ||
| 氟化物 | 排放浓度（mg/m3） | 0.32 | 0.38 | 0.45 | 9 | |
| 排放速率（kg/h） | 0.011 | 0.014 | 0.015 | / | ||
| 氯化氢 | 排放浓度（mg/m3） | 1 | 1.6 | 1.3 | 100 | |
| 排放速率（kg/h） | 0.034 | 0.056 | 0.043 | / | ||
| 硫酸雾 | 排放浓度（mg/m3） | 1.77 | 1.69 | 1.75 | 45 | |
| 排放速率（kg/h） | 0.06 | 0.059 | 0.058 | / | ||
| 备注：西岳公司酸性废气吸收塔（南侧）和西岳公司酸性废气吸塔（北侧）2个酸性气体吸收塔相隔9m，其等效排简高为23m，等效排简化的排放速率0.12kg/h，氟化物的排放速率为0.046kg/h，硫酸雾的排放速率为0.15kg/h，北侧和南侧两个酸性吸收塔氯化氢、氟化物、硫酸雾排放浓度均符合GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》表2中限值要求；排气筒出口监测的氯化氢、氟化物、硫酸雾的排放速率均符合GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》表2中最高允许排放速率二级标准限值：氯化氢（0.72kg/h）、氟化物（0.30kg/h）、硫酸雾（4.5g/h）的要求。 | ||||||
| 西岳公司碱性废气吸收塔 | ||||||
| 高度（m） | 35 | 截面积（m2） | 0.6362 | |||
| 监测日期 | 2022.10.19 | 环保设施工艺 | 碱性喷淋塔 | |||
| 监测项目 | 第一次 | 第二次 | 第三次 | 标准值 | ||
| 氨 | 排放浓度（mg/m3） | 0.68 | 0.99 | 0.85 | / | |
| 排放速率（kg/h） | 0.016 | 0.024 | 0.02 | 27 | ||
| 备注：西岳公司碱性废气吸收塔氮的排放速率符合GB14554-1993《恶臭污染物排放标准》表2中排放量标准限值的要求。 | ||||||
| 西岳公司有机废气吸收塔 | ||||||
| 高度（m） | 23 | 截面积（m2） | 1.7671 | |||
| 监测日期 | 2022.10.19 | 环保设施工艺 | 有机废气处理塔 | |||
| 监测项目 | 第一次 | 第二次 | 第三次 | 标准值 | ||
| 苯 | 排放浓度（mg/m3） | 0.549 | 0.567 | 0.603 | 1 | |
| 排放速率（kg/h） | 0.012 | 0.011 | 0.013 | / | ||
| 二甲苯 | 排放浓度（mg/m3） | 1.5×10-3ND | 1.5×10-3ND | 1.5×10-3ND | 10 | |
| 排放速率（kg/h） | ＜3.3×10-5 | ＜3.0×10-5 | ＜3.3×10-5 | / | ||
| 非甲烷总烃 | 排放浓度（mg/m3） | 1.5 | 1.7 | 1.8 | 50 | |
| 排放速率（kg/h） | 0.032 | 0.033 | 0.039 | / | ||
| 备注：西岳公司有机废气吸收塔苯、二甲苯、非甲烷总烃的排放浓度均符合DB61/T1061-2017《挥发性有机物排放控制标准》表1电子产品制造标准限值的要求。 | ||||||
| 西岳公司-锅炉排气筒（6吨锅炉） | ||||||
| 高度（m） | 20 | 截面积（m2） | 0.7853 | |||
| 监测日期 | 2022.10.19 | 燃料类型 | 天然气 | |||
| 监测项目 | 第一次 | 第二次 | 第三次 | 标准值 | ||
| 烟气黑度 | ＜1 | ≤1 | ||||
| 二氧化硫 | 排放浓度（mg/m3） | 3ND | 3ND | 3ND | / | |
| 折算浓度（mg/m3） | ＜4 | ＜4 | ＜4 | 20 | ||
| 排放速率（kg/h） | ＜0.020 | ＜0.021 | ＜0.017 | / | ||
| 氮氧化物 | 排放浓度（mg/m3） | 24 | 22 | 23 | / | |
| 折算浓度（mg/m3） | 29 | 26 | 28 | 80 | ||
| 排放速率（kg/h） | 0.15 | 0.15 | 0.13 | / | ||
| 低浓度颗粒物 | 排放浓度（mg/m3） | 2.8 | 2.3 | 3 | / | |
| 折算浓度（mg/m3） | 3.4 | 2.8 | 3.6 | 10 | ||
| 排放速率（kg/h） | 0.018 | 0.016 | 0.017 | / | ||
| 备注：西岳公司-锅炉排气筒（6吨锅炉）二氧化硫、氮氧化物、低浓度颗粒物的折算浓度均符合 DB61/1226-2018《锅炉大气污染物排放标准》表3燃气锅炉标准限值的要求，烟气黑度的监测结果符合GB 13271-2014《锅炉大气污染物排放标准》表3标准限值的要求。 | ||||||
| 混合集成电路事业部-有机废气吸收塔排气筒出口-东侧 | ||||||
| 高度（m） | 35 | 截面积（m2） | 0.0962 | |||
| 监测日期 | 2022.10.20 | 环保设施工艺 | 活性炭、有机废气处理器 | |||
| 监测项目 | 第一次 | 第二次 | 第三次 | 标准值 | ||
| 苯 | 排放浓度（mg/m3） | 0.491 | 0.567 | 0.556 | 1 | |
| 排放速率（kg/h） | 4.4×10-4 | 5.7×10-4 | 5.2×10-4 | / | ||
| 甲苯 | 排放浓度（mg/m3） | 0.626 | 0.569 | 0.626 | 5 | |
| 排放速率（kg/h） | 5.7×10-4 | 5.7×10-4 | 5.9×10-4 | / | ||
| 二甲苯 | 排放浓度（mg/m3） | 3.42 | 3.26 | 3.5 | 10 | |
| 排放速率（kg/h） | 3.1×10-3 | 3.3×10-3 | 3.3×10-3 | / | ||
| 非甲烷总烃 | 排放浓度（mg/m3） | 5.34 | 5.11 | 6.53 | 50 | |
| 排放速率（kg/h） | 4.8×10-3 | 5.1×10-3 | 6.1×10-3 | / | ||
| 备注：混合集成电路事业部-有机废气吸收塔排气筒出口-东侧苯、甲苯、二甲苯、非甲烷总烃的排放浓度均符合DB61/T1061-2017《挥发性有机物排放控制标准》表1电子产品制造标准限值的要求。 | ||||||
| 混合集成电路事业部-有机废气吸收塔排气筒出口-中间 | ||||||
| 高度（m） | 35 | 截面积（m2） | 0.2827 | |||
| 监测日期 | 2022.10.20 | 环保设施工艺 | 活性炭、有机废气处理器 | |||
| 监测项目 | 第一次 | 第二次 | 第三次 | 标准值 | ||
| 苯 | 排放浓度（mg/m3） | 0.559 | 0.617 | 0.655 | 1 | |
| 排放速率（kg/h） | 3.0×10-3 | 3.1×10-3 | 3.2×10-3 | / | ||
| 甲苯 | 排放浓度（mg/m3） | 0.544 | 0.602 | 0.563 | 5 | |
| 排放速率（kg/h） | 2.9×10-3 | 3.0×10-3 | 3.0×10-3 | / | ||
| 二甲苯 | 排放浓度（mg/m3） | 3.59 | 3.68 | 3.61 | 10 | |
| 排放速率（kg/h） | 0.019 | 0.019 | 0.019 | / | ||
| 非甲烷总烃 | 排放浓度（mg/m3） | 4.94 | 5.26 | 5.34 | 50 | |
| 排放速率（kg/h） | 0.026 | 0.027 | 0.028 | / | ||
| 备注：混合集成电路事业部-有机废气吸收塔排气筒出口-中间苯、甲苯、二甲苯、非甲烷总烃的排放浓度均符合DB61/T1061-2017《挥发性有机物排放控制标准》表1电子产品制造标准限值的要求。 | ||||||
| 混合集成电路事业部-有机废气吸收塔排气筒出口-西侧 | ||||||
| 高度（m） | 35 | 截面积（m2） | 0.2827 | |||
| 监测日期 | 2022.10.20 | 环保设施工艺 | 活性炭、有机废气处理器 | |||
| 监测项目 | 第一次 | 第二次 | 第三次 | 标准值 | ||
| 苯 | 排放浓度（mg/m3） | 0.674 | 0.636 | 0.693 | 1 | |
| 排放速率（kg/h） | 3.9×10-3 | 3.8×10-3 | 4.0×10-3 | / | ||
| 甲苯 | 排放浓度（mg/m3） | 0.698 | 0.678 | 0.717 | 5 | |
| 排放速率（kg/h） | 4.1×10-3 | 4.1×10-3 | 4.1×10-3 | / | ||
| 二甲苯 | 排放浓度（mg/m3） | 3.98 | 9.84 | 4.08 | 10 | |
| 排放速率（ | ||||||
中绿源环科所
